ae脉冲直流电源维修pinnacle plus10k20k北京
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pinnacle® plus 系列advanced energy (ae) 的 pinnacle® plus 电源为单体直流脉冲电源，为您的反应工艺提供脉冲直流电pa凯发娱乐的解决方案所有优点，包括使用简单、节约成本以及具有的灵活性。结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术，pinnacle plus 电源与复杂而昂贵的交流电pa凯发娱乐的解决方案相比，沉积率更高，重复性能更好，薄膜质量更为优异。优势:
更高的沉积率与产品率
薄膜均匀性和品质一流
成弧造成的基材损坏减少
成本更低
系统整合容易
的工艺灵活性和宽容度
重复性能
在过度曲线上运行稳定
吞吐量更高
的系统灵活性特点:
一个紧凑型封装
频率调节范围为 5-350khz
占空比大
电压范围宽——单输出宽阻抗范围
大功率运行
基材温度低
单输出（5kw 和 10kw 型号）
用于双阴极生产的双输出（双路5kw 型号）
的弧控制
反应性溅射闭环控制规格：
输出功率：5kw单输出、5kw双输出、10kw单输出
电压范围：325-650vdc，可选325-800vdc输出（宽z）
输出功率接头：五个终端、din压缩接头；电线尺寸：＃6 awg
输出接头：两个终端、多个触点、带有应力释放功能的可插入式接头或uhf接头
电流：
15.4adc；15.4adc/输出；30.8adc
频率：5到350khz，可变
反向电压：工作电压的0.1
点火功能：1500vdc，正常1350vdc
调节模式：功率、电压或电流
交流线电压：200/208、400或480vac
电流：5kw：200/208vac：标称值17a/φ
400vac：标称值8.5a/φ
480vac：标称值7.5a/φ
5kw双输出/10kw单输出200/208vac：标称值35a/φ
400vac：标称值17a/φ
480vac：标称值15a/φ
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