美国ae直流电源维修mdx-5k射频电源维修
北京天浦正达ae直流电源维修中心可维修故障范围包括:
无输出,烧,开不了机,面板无显示修,启动无输出,输出电压不正常,带不了负载,模块坏等
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ae mdx系列直流电源操作
前面板：
ae mdx直流电源操作及接线说明
1）指示灯
output power
a)stop的指示灯亮时，表示电源已关闭
b)start的指示灯亮时，表示电源已打开regulation
a)power的指示灯亮时，表示电源处于功率模式，设定值是功率值
b)current的指示灯亮时，表示电源处于电流模式，设定值是电流值
c)power和current的指示灯同时亮时，表示电源处于电压模式，设定值是电压值
d)power和current的指示灯同时闪时，表示电源处于未知模式status
a)arc指示灯亮时，表示腔室内阻抗过低，输出电流过电源规定的大值
b)setpoint指示灯亮时，表示电源的输出值已经达到设定值
c)remote指示灯亮时，表示电源的开关或设置值处于远控模式
d)output指示灯亮时，表示电源已经打开
e)plama指示灯亮时，表示输出电流大于10ma
f)interlock指示灯亮时，表示互锁已经满足，若不满足，则该灯闪烁
level键：用于设置电源参数
display键：按改键可切换显示功率、电压或者电流
拨码开关
ramp，0.1 sec：开关置下时，表示电源输出从0到设定值的时间为0.1秒
ramp，1.0 sec：开关置下时，表示电源输出从0到设定值的时间为1.0秒
ramp，10 sec：开关置下时，表示电源输出从0到设定值的时间为10秒c hold：开关置下时，可缩短一次以后电源输出值达到设定值的时间on/off：开关置上时，表示通过user port来打开或者关闭电源，置下时，表示通过前面板打开或者关闭电源
ae电源维修常见型号系列：
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射频电源设备维修：刻蚀，rie,pecvd,icp,射频溅射，cvd和pvd等系统
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